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制造執(zhí)行系統(tǒng)為半導體應用高質量生產

發(fā)布時間 : 2019-02-18     來源 :

  隨著集成電路中的元件在納米尺度上變得越來越小并且微處理器穩(wěn)定地變得更加強大,半導體工業(yè)的特征在于極快的變化。光致抗蝕劑是光敏化學材料,在半導體制造工藝中起著關鍵作用,它們必須在功能和質量上不斷發(fā)展,以滿足先進微處理技術不斷變化的需求。制造商對其光刻膠供應商提出了越來越嚴格的要求,不僅要求提高產品質量和功能,還要求具有與制藥生產過程相當的可追溯性水平。

  一、公司介紹

  T公司是增值光刻膠和其他精細化學品的全球供應商,也是半導體和液晶顯示器生產中使用的設備。其子公司向半導體制造商和供應鏈合作伙伴銷售稀釋劑和各種半導體相關輔助化學品。2014年,公司在其新的通絡工廠開始生產光刻膠,該工廠配備了先進的生產設備,并使用橫河電機的CENTUM VP集成生產控制系統(tǒng)進行控制。

制造執(zhí)行系統(tǒng)為半導體應用高質量生產

  二、客戶挑戰(zhàn)和解決方案

  (一)與客戶建立密切關系

  極具競爭力的半導體行業(yè)和微處理技術的短生命周期意味著不僅像T公司這樣的化學制劑供應商而且半導體制造商本身也面臨著不斷創(chuàng)新以求生存的巨大壓力。

  為了確保持續(xù)增長,T公司決定為其在臺灣的半導體制造客戶開始本地生產光刻膠材料。通過將其生產設施放置在客戶附近,公司能夠更密切地與他們合作,并深入了解他們不斷變化的需求。這使得T公司能夠生產出與其需求緊密匹配的新產品。

  (二)使用MES

  T公司其他工廠的一致生產活動依賴于內部開發(fā)的MES包裝,但這些包裝難以維護,并且還缺乏公司半導體制造客戶所需的可追溯性功能。對于新的通絡工廠,T公司向過程控制系統(tǒng)供應商尋求更好的解決方案。

  從原材料的輸入到產品的完成,生產光致抗蝕劑需要大約兩周的時間。在這個生產過程中有許多步驟,必須完成它們沒有錯誤,以確保光刻膠質量一致。

  MES供應商與T公司合作逐一確定這些步驟。這涉及大量的生產技術,MES供應商有必要了解和構建其MES生產過程的所有關鍵步驟,制定系統(tǒng)規(guī)范需要與T公司的人員就生產過程進行廣泛討論。

  根據這些規(guī)格,MES供應商構建了一個完全支持操作員工作流程的MES。MES將客戶訂單轉換為生產過程的說明。與工廠的CENTUM VP生產控制系統(tǒng)協調,MES在操作員PC上顯示詳細的工作流程。操作員一步一步地遵循這些說明,同時與系統(tǒng)互鎖。所有信息(如原材料批號和數量以及設備和工藝參數)都會被跟蹤,以便報告功能,以便在任何時候對其進行審核。因此,操作員可以在每個步驟中獲得所需的所有信息,以確保生產過程中的一致結果。

  (三)完全可追溯性 - 每個瓶子都可追溯到生產信息

  除了支持生產操作外,還需要記錄和存儲與原材料使用,生產過程,檢驗結果等有關的生產相關信息。在產品異常的可能性中,跟蹤原材料批次和處理記錄的能力有助于識別使用相同原材料或工藝的其他產品。即使在沒有異常的情況下,可追溯性也可以找到可能影響產品質量的變化。生產過程的可追溯性對于質量控制非常重要。

  即使有這樣的信息,對根本原因的分析也可能花費大量時間。為了解決這個問題,T公司正在尋找一種方法來存儲并快速有效地搜索大量數據。作為解決方案,MES廠商將跟蹤和報告功能添加到MES中。跟蹤功能允許產品源回溯分析和原材料來源的跟蹤前向視圖,實現產品,中間產品和原材料之間關系的詳細多方向跟蹤。報告功能允許輸出詳細的4M(人,機,材料,方法)生產記錄,從而可以一目了然地檢查從上游到下游的整個過程,生成報告所需的時間大大減少,這些功能使得快速有效地追蹤通絡生產線上每瓶的生產信息成為可能,這增加了巨大的價值,是幫助T公司贏得客戶信任的因素之一。

  三、消費者滿意度

  盡管這是一個幾乎完全由當地工作人員操縱的基層設施,但工廠很快就滿負荷運轉。MES的貢獻非常重要,因為它允許日本開發(fā)的生產技術以標準化的形式呈現,并用于防止多產品過程中的人為錯誤。對于產品線的未來擴展,可以輕松更新MES的主版本以適應新的生產配方,從而使系統(tǒng)具有高度可擴展性。生產計劃和執(zhí)行的整合以及可追溯性的整合有助于該工廠始終如一地生產高質量的光刻膠,使其成為清潔,高精度半導體制造的首選產品。

  工廠副總裁兼經理說:“我們建造了工廠,旨在實現高水平的產品質量。引入MES有助于實現這一目標。我們能夠提供詳細的可追溯性信息,從中受益對于每種產品。我們的客戶非常重視這種能力。然而,半導體行業(yè)的變化步伐非???,我們的客戶一直在尋找未來的發(fā)展方向,跟上是一個挑戰(zhàn),光刻膠所需的特性因客戶而異,因此我們能夠與它們進行深入討論并使用該信息來定制我們的產品以滿足各種要求。我們的產品被譽為產品,我們必須通過提供滿足更嚴格客戶要求的新產品并以快速響應的方式擴展我們的生產能力來維護這一聲譽。我們希望MES供應商了解這些需求并為我們提供強有力的本地支持。我們計劃在工廠目前正在建設的新工廠開始生產與光刻膠相關的化學品,我們的目標是擁有好的設施,并實現其產品的可追溯性,通過生產我們的競爭對手無法比擬的產品,我們將獲得競爭優(yōu)勢。我們的夢想是與客戶共同成長,為臺灣半導體產業(yè)的進一步發(fā)展做出貢獻?!?/span>

       效率MES解決方案在自動化的基礎上,顯著提高工廠的智能化水平,降低人為因素的影響,便捷、“傻瓜式”的操作將大大降低人力成本。

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